테스, 로드락 챔버 특허권 취득 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2012-04-24 15:09:31 ㅣ 2012-04-24 15:10:04 [뉴스토마토 김희주기자] 테스(095610)가 웨이퍼 정렬장치와 이를 포함하는 로드락 챔버를 개발하여 특허권을 취득했다고 24일 공시했다. 회사는 이 기술을 통해 반도체 제조의 생산성을 향상시켜 제품경쟁력을 강화할 예정이다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 제너시스템즈, 지시패키지 공유 시스템 특허권 취득 테스, 47억 규모 반도체 제조장비 공급계약 안랩, AP 접속 승인 시스템 특허권 취득 안랩, 단말장치 보안문서 실행법 특허권 취득 김희주 뉴스북 이 기자의 최신글 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스