테스, 인라인 기판처리시스템·로드락챔버 특허 취득 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2013-10-15 15:48:34 ㅣ 2013-10-15 15:52:14 [뉴스토마토 최승환기자] 테스(095610)는 15일 인라인 기판처리시스템과 로드락챔버 관련 특허를 취득했다고 공시했다. 회사 측은 이번 특허로 로드락챔버의 압력을 변경해야 하는 과정을 생략해 공정 시간을 단축할 수 있고, 인라인 기판처리 시스템의 생산효율이 향상되는 효과가 있다고 설명했다. 또 앞으로 장비 제조시 특허기술 적용해 제품경쟁력 강화하는데 활용할 계획이라고 덧붙였다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 코웨이, 500억원 규모 자사주 취득 신탁계약 체결 유비프리시젼, 42억원 규모 유상증자 결정 이큐스앤자루, 인플루엔자 바이러스 치료용 물질 특허취득 제닉, 쌀가루 포함 경피 흡수용 조성물 특허 취득 최승환 뉴스북 이 기자의 최신글 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스