테스, 인젝터 모듈 장치 특허권 취득 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2014-05-21 14:15:08 ㅣ 2014-05-21 14:15:08 [뉴스토마토 이경주기자] 테스(095610)는 인젝터 모듈과 이를 사용하는 플라즈마 반응 장치에 관한 특허권을 취득했다고 21일 공시했다. 회사 관계자는 "챔버 내부로 유입되는 공정 가스가 원하지 않는 곳으로 유동하는 것이 저지돼 균일한 박막 형성과 공정 가스의 불필요한 소모를 줄일 수 있는 장치"라고 밝혔다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 (한눈에보는주도주)테스 테스, 박막증착장치 관련 특허 취득 (한눈에보는주도주)테스 테스, 1Q 영업익 116억6300만원..전년동기比 흑자전환 이경주 뉴스북 이 기자의 최신글 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스