테스, 박막증착장치 특허 취득 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2014-11-19 17:05:10 ㅣ 2014-11-19 17:05:10 [뉴스토마토 정기종기자] 테스(095610)는 반도체 원자층증착 장비에 적용되는 박막증착장치에 대한 특허를 취득했다고 19일 공시했다. 해당 기술은 박막증착장치에서 둘 이상의 박막을 증착할 수 있게 돼 증착시간을 현저히 줄일 수 있다. 회사 측은 "향후 신제품 개발 적용 및 기존 제품 경쟁력 강화에 사용할 것"이라고 전했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 피앤텔, 최대주주 변경 코리아나, 3자배정 유상증자 무산 씨젠, 3Q 영업이익 25.5억..전년比 41% ↓ 에리트베이직, 40억 규모 자금대여 결정 정기종 뉴스북 이 기자의 최신글 항공업계, 여름휴가 특수 실종…추석은 다를까 한화솔루션, 2분기 사상 최대 매출 기록 OCI, 이사회 산하 ESG위원회 출범 행복한 '주객전도'…정유업계, 사업 다각화 속도 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스