테스, 기판처리 장치에 대한 특허 취득 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2010-11-08 14:39:02 ㅣ 2011-06-15 18:56:52 [뉴스토마토 문경미기자] 테스(095610)는 8일 기판처리 장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다. 테스는 "이번 특허로 하나의 챔버 내에서 복수의 기판을 가열 및 냉각할 수 있어 작업처리량을 극대화할 수 있게 됐다"고 설명했다. 뉴스토마토 문경미 기자 iris0602@etomato.com - Copyrights ⓒ 뉴스토마토 (www.newstomato.co.kr) 무단 전재 및 재배포 금지 - ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 테스, 기판가열장치 관련 특허 취득 (시황)또 뒷심?..지수 1870선 반등 (14:01) 테스, 하이닉스에 35억 규모 반도체 제조장비 공급 테스, 3분기 영업익 34원..전년比455%↑ 문경미 뉴스북 이 기자의 최신글 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스