참엔지니어링 반도체 웨이퍼 홀더 특허권 취득

2013-09-23 13:31:17 ㅣ 2013-09-23 13:34:59

[뉴스토마토 양지윤기자] 참엔지니어링(009310)은 반도체 웨이퍼 홀더에 대한 특허권을 취득했다고 23일 공시했다.

회사 측은 "웨이퍼 홀더 파손 시 체결부 만을 재가공 또는 교체할 수 있기 때문에 웨이퍼 배면을 균일하게 가공할 수 있으며, 유지보수 비용 절감이 가능하다"면서 "특허기술을 활용해 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.