테스, 기판처리장치 특허취득 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2012-02-21 13:56:12 ㅣ 2012-02-21 13:56:22 [뉴스토마토 정세진기자] 테스(095610)는 21일 기판처리장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다. 회사는 이 특허를 활용하면 기판의 균일한 가열과 신속한 이송 및 균일한 가스분사가 가능해져 우수한 품질의 기판을 높은 효율로 생산할 수 있다고 설명했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 테스, 가스 분산판 특허 취득 엔씨소프트, 작년 영업익 1347억..전년대비 24% ↓ 일신바이오, 아이에스씨 지분 60% 취득 글로벌 태양광기술 한자리에!..'태양에너지 엑스포' 개막 정세진 뉴스북 이 기자의 최신글 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스