원익IPS, 박막증착장치 특허권 취득 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2013-11-26 13:39:22 ㅣ 2013-11-26 13:43:16 [뉴스토마토 조아름기자] 원익IPS(030530)는 박막증착장치에 대한 특허권을 취득했다고 26일 공시했다. 이 특허는 반응공간 내에 다수의 기판을 처리하는 장치에서 서로 다른 가스가 혼합되는 것을 방지하는 복수의 배기구조를 갖는 박막증착장치에 관한 것이다. 원익아이피에스는 "반도체 장비의 경쟁력 강화에 이번 특허를 활용하겠다"고 밝혔다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 (수급인사이드)외국인·기관, IT · 반도체 업종 매수 동국S&C, 251억 규모 미주지역 윈드타워 공급계약 씨앤비텍, 신주인수권행사가액 하향조정 마크로젠, 묘안 증후군 진단용 키트 등 특허 4건 취득 조아름 뉴스북 이 기자의 최신글 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스